发布时间：2024年11月06日 14:58:47分享人:酒尚温来源:互联网15
椭偏仪一种用于测量一束偏振光从被研究的表面或薄膜上反射后偏振状态产生变化的光学仪器，用它可以得到表面或薄膜的有关物理参量的信息。
椭偏仪_椭偏仪 -椭偏仪
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一种用于测量一束偏振光从被研究的表面或薄膜上反射后偏振状态产生变化的光学仪器，用它可以得到表面或薄膜的有关物理参量的信息。
椭圆偏振测量是一种非常实用的光学技术，它已有100多年的发展历史。1808年，┵.-L.马吕斯探测到反射光线的偏振特性，1889年P.K.L.德鲁德建立了椭圆偏振测量的基本方程式，奠定了椭圆偏振测量技术的发展基础。它是一种无损的测量方法，并且对于表面的微小变化有极高的灵敏性，例如可以探测出清洁表面上只有单分子层厚度的吸附或污染。特别是近年来，这一技术与微型计算机相结合，达到了测量步骤简化及计算更为迅速的效果，使这一古老的方法获得了新生。它在各个领域中，如物理、化学、材料和照相科学、生物学以及光学、半导体、机械、冶金和生物医学工程中得到了广泛的应用。
原理当一束光线倾斜入射到一表面或薄膜上时，平行于入射面振动的 p偏振分量和垂直于入射面振动的s偏振分量在满足切向分量连续的边界条件下,因入射媒质、基片和薄膜材料对于p偏振和s偏振有不同的光学反射系数，在表面或薄膜上反射时，p偏振和s偏振的反射振幅和反射位相也各不相同。当入射光是一束线偏振光时，在一般情况下，从表面或薄膜上反射后，p偏振和s偏振之间产生了不同的振幅衰减和相对位相差
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