发布时间：2022年04月14日 22:50:07分享人:一人恋来源:互联网14
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....ZnO是一种Ⅱ一Ⅵ族具有六角纤锌矿结构的直接带隙宽禁带n型半导体材料，晶格常数a=0.32496nm，C=0.52065nm。室温下ZnO的禁带宽度约为3.37eV，熔点为1975摄氏度，具有很高的热稳定性和化学稳定性。而且ZnO薄膜的外延生长温度较低，有利于降低设备成本，抑制固相外扩散，提高薄膜质量，也易于实现掺杂。ZnO来源丰富、价格便宜、无毒，具有优良的综合性能，近年来在国际上已成为半导体光电材料的研究热点。
ZnO薄膜是一种重要的光电子信息材料，不仅具有与传统的ITO薄膜相比拟的光电性质，而且原料丰富，价格低，无毒性，热稳定性高，在太阳能电池、液晶显示器及光电探测器等领域有着广泛的应用前景。可广泛应用于制造柔性衬底发光器件、塑料液晶显示器和非晶硅太阳能电池，还可作为透明保温隔热材料用于塑料大棚以及汽车玻璃和民用建筑玻璃的贴膜。尤其在光电子产业1TO透明导电薄膜中，In元素资源稀少，价格昂贵，亟需找到一种可替代的材料。
在ZnO体系中掺杂Al得到ZnO：Al透明导电薄膜，即AZO薄膜，惨杂后薄膜导电性能大幅度提高，电阻率可降低到10-4ohm・cm，而且透明导电薄膜AZO薄膜在氢等离子体中稳定性要优于ITO，同时具有可同ITO相比拟的光电特性，而且AZO薄膜的制备方便，元素资源比In元素丰富，且无毒，逐渐成为ITO薄膜最佳替代者，AZO薄膜目前已经在平板显示器和薄膜太阳能电池中得到了部分应用。
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