真空度单位:通常用托(Torr)为单位,近年国际上取用帕(Pa)作为单位。
1托=1/760大气压=1毫米汞柱
托与帕的转换
1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托
用压力表示真空度是由历史上采用 U 型压力计测量真空所沿用下来的,这并不十分合理。
在一般真空系统中,通常以各向同性的中性气体的压力这一流体静力学的物理量表示真空度,因此,真空度的测量仅仅归结于压力的测量。但应特别注意测量条件,测量的对象是在有限的容器内的静止(随机运动)、稳态、各向同性单一的中性气体。在这种情况下,麦克斯威速度分布、余弦散射定律和流体静力学压力概念(p= nkT,v= 1/4nc,p = ρgh)都比较符合客观实际,真空度的测量也比较简单容易。
根据真空度定义,真空度最好用分子密度n表示,而以压力表示真空度与此并不矛盾。测量压力时,一般气体处于平衡态并满足麦克斯威速度分布定律,即p=nkT成立。测量时气体温度T一定,所以气体压力p正比于分子密度n。也就是说,此时压力是分子密度的量度,所以可以用压力表示真空度。
在一般情况下,以压力表示真空度是流行、沿用的,但并不是唯一的,还可以用如下参数表示真空度:
二、极限真空:
“极限真空”完整名称是“极限真空度”,是真空容器经充分抽气后,稳定在某一真空度,此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气,再经12小时抽真空,最后一个小时每隔10分钟测量一次,取其10次的平均值为极限真空值。
“极限真空”是真空泵的一个重要参数,也叫“极限压力”是反应泵抽气能力的特性值,是与真空泵相关的一个数值,不同的真空泵可以有不同的“极限真空”度。极限真空度,是在没有负载的条件下获得的最大真空度。
如:假设密闭容器内气体压力为常压(即100KPa),即表示内有100个气体分子,用负压为-90Kpa的泵抽气,最后能抽走90个气体分子,剩下10个气体分子,则此时容器内负压为-90Kpa。