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北京大学微电子所北京大学微电子学系，又称北京大学微电子学研究院（所），有着源远流长的学术渊源，其发展历史可以追溯到1956年由著名物理学家黄昆院士领导在北大物理系创建的我国第一个半导体专门化机构，之后又在我国著名的微电子专家王阳元院士的领导下，北京大学微电子学系为我国微电子产业培养了一大批优秀人才，已经成为我国培养高水平微电子人才的一个重要基地，是国家和学校大力支持和发展的重点学科。
【硬件环境】北大微电子学系有着国内一流的科研硬件设施，有微米/纳米加工技术国家级重点实验室、北方微电子研究开发基地新工艺新器件新结构电路国家计委专项实验室、北京市软硬件协同设计高科技实验室三大重点实验室，再加上MPW（多项目晶圆）中心这个平台。重视工艺是北大微电子的传统，许多老师都是物理出身，对于器件工艺这块十分看重，再加上最先进的微米/纳米加工条件，因此在这一点一直能保持领先地位。在未来两年里，美丽的未名湖东面将矗立起一座五层高的微电子大楼，一两年后的研究生将能享受到更为舒适的环境。
【师资科研】北大微电子所下面分有 SOI、SOC、ASIC、MPW中心、MEMS、新器件、可测性、宽禁带、纳太器件等多个研究小组。所长王阳元院士是中国微电子产业的奠基人之一，是业界久负盛名的专家。王院士目前出任中芯国际的董事长。SOI组的黄如教授是北京市优秀教师，目前为IEEE EDS(Electron Device Society) 和ADCOM （AdministrativeCommittee）的成员，科研方向主要是SOI方向，同时也指导学生进行射频方面的研究。SOI研究组的研究领域有SOI技术、纳米量级新结构器件及制备工艺技术，以及现在主要研究的射频电路技术。再加上对RF电路功底深厚的廖怀林教授，有着国内科研界最先进的加工水平（流片基本上都是采用0.13微米工艺），组内研究生博士生已有多篇文章发表在国际高水平刊物上。SOC研究组由于敦山教授领导，该组拥有北京大学-安捷伦科技SOC测试教育中心和北京大学-安捷伦科技SOC测试工程中心两个中心作为平台，于老师是研究微处理器出身，对系统方面有着很深刻的理解。新器件组在刘晓彦教授、康晋锋教授两夫妇的领导下，主要进行新型半导体器件结构、材料、工艺、模型、模拟等方面的研究工作。在新型半导体器件结构、材料、工艺研究方面，成功研制了多种新结构半导体器件，在超精细栅、新型金属栅和高K栅介质结构、制备工艺、可靠性方面，高速互联方面都取得了一系列创新成果。
另外，对于器件的模型、蒙特卡罗模拟以及新型存储器方面的研究都堪称一流。MPW是近两年新成立的一个研究组，是依托北京大学微电子学研究院的技术力量建立的一个服务于各高校科研和一些公司的平台，目前由盛世敏教授和张刚刚教授指导学生开展工作。盛教授是当年和王院士共同工作的同事，也是北大微电子所的奠基人之一。MPW组下的研究生，做数电和模电的都有，也有做ADC、提取参数和建立模型库的。MEMS组是目前北大微电子所里规模最大的一个组，有RFMEMS、MEMS陀螺、微流体芯片、生物MEMS、NEMS等多个研究方向。北大MEMS组的加工工艺在国内高校领先，组内的李志宏教授、张大成教授等多个老师对工艺理解都很深刻，有着多年的设计加工经验。李志宏教授是MEMS研究所所长，在RFMEMS和微流体芯片方面都有研究；闫桂珍教授是国内MEMS陀螺研究方面的权威；张大成教授对微电子IC工艺和MEMS工艺都有丰富的实践经验，同时也是微米纳米加工实验室的负责人。该组的“基于 MEMS技术及应用研究”已于今年获得国家技术发明二等奖，是北京大学第一次以“第一完XXXXX单位”获得的国家技术发明二等奖。
【招生培养】每年的招生方面，北大理学硕士招生人数为57人，保送生30人，一般本部25人中15人保送，深圳30人中15人保送，具体人数可能少许浮动。考试录取37人，北大招收的人比较多的原因是其中会包含深圳研究院的研究生。深院的研究生培养模式和本部不同，与本部相比各有各的优势。从2007年开始，招生方式有所改变，没有达到微电子专业线的，只要过了北大总的线都可以上微电子的工程硕士，工程硕士招生总人数为100人。
清华大学微电子所 清华大学微电子学研究所成立于1980年9月，全国著名半导体物理学家、中科院院士李志坚院士曾任该所所长。该所是国家重点支持的北方微电子研究开发基地的主要组成单位，是高素质微纳电子科技人才的培养基地，1988年第一次国务院重点学科评选时，被评选为全国微电子学领域第一个重点学科点。
【硬件环境】清华大学微米/纳米技术研究中心拥有一条4英寸1微米级集成电路工艺线，具有完备的MEMS加工技术与设备，主要用于加工与MEMS器件相关的项目流片。另外还有一条集成电路开发与工业性试验线，该生产线主要进行各类新型SiGe微波功率半导体器件与集成电路以及其它特殊用途的硅集成电路的研究开发，并且可以提供MOXXXXXPW（MOS多项目晶圆）服务。
【师资科研】清华大学微电子所主要器件、设计、工艺和CAD四个研究方向。在这四个研究方向里，器件和设计实力最强，资金雄厚。器件方面，主要强在理论，相对更容易在高水平期刊上面发表论文，对于出国有利。器件组的研究方向包括新器件结构与模型、新材料与工艺、新概念与原理。清华的MEMS研究方面，是国内唯一个重复出当年的静电微马达的科研单位，同时有硅电容式微麦克风的研究，曾参与此项目研究的陈兢现为北大微电子所MEMS器件组副教授。整个器件组的特点在于：新材料和新器件方向结合、LIGA技术与传统IC方向结合、微纳米级器件设计与小尺寸器件模型建立相结合，研究领域很广。此方向下的微纳器件与系统研究室，现在由任天令教授主管，任教授的研究方向主要包括MEMS、新型半导体存储技术、纳电子与自旋电子学和微纳电子技术新材料。设计方向主要更偏向于工程。在各大高校中，清华的电路设计是一流水平，可以说是跟公司前沿最接近的，与各大公司、研究所以及国内外foundry都有较多的合作，研究课题涉及数字多媒体、神经网络及模糊电路、高层次综合技术（原大唐总裁魏少军在这个方向为北大清华的研究生开有任选课）、IC测试、多媒体VLSI、加密电路及CPU等等。此方向下的集成电路与系统设计研究室由王志华教授领导，其研究领域为：集成电路与系统设计方法学、模拟和射频集成电路设计、通讯集成电路设计和高速实时信号处理。工艺方向，包括了研究传统的CMOS工艺技术以及一些新型的工艺技术如数模混合工艺等等。其中的集成电路开发与工业性试验线由刘志弘教授任主任，该组的主要研究方向包括了深亚微米集成电路制造、SiGe技术、非挥发性存储技术、POWER器件及集成电路以及集成电路生产自动化控制等方向；CAD技术研究室，主任为王燕教授，该组的主要研究方向有：极小尺寸MOS器件输运机理研究、纳米级量子、电子器件结构和理论分析、微/纳米级器件的CAD软件研究、微/纳米级新结构器件研究、建库方法学研究和用于SOC存储器类的IP核开发、射频(RF)电路版图设计的电路提取和验证和集成电路制造的计算机辅助管理系统（IC-CAM系统）研发等。
【招生培养】清华研究生难考的原因，在于它接收的考试生比较少（07年仅为10人），而保送生为30-40人。清华大学微电子在深圳也设有研究生院，但是那边一般不培养微电子类的工学硕士，只培养工程硕士。微电子所07年在北京、深圳两地招收工程硕士人数总共为74名。
中科院微电子所、微系统所和半导体所 说到科研，就不能不提中科院，中科院和微电子领域关系最密切的研究所有三个：微电子所、半导体所和微系统所。作为中国科学院下面的直属科研院所，这三个所的师资、资金实力在国内同行中都处于领先水平。中科院的一个特点是老师多，学生少（虽然说最近几年也有扩招），在其它科研院所干事的主力可能是高年级研究生和博士生，但中科院的科研主力绝对是各位研究员。微电子所核心试验设备一流中科院微电子所的核心设备是一流的。它有一条用于0.8微米IC工艺研究的实验线， “高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”为国家863集成电路装备重大专项；微细加工与纳米技术实验室装备了分辨率30nm的JEOL JBX-5000LS电子束光刻系统，分辨率0.35u的MEBES 4500电子束制版系统以及和微细加工有关的反应离子刻蚀机，电子束镀膜系统，光学制版系统，LPCVD以及JBX-6A2电子束制版系统。在北京地区，目前唯一能做电子束光刻的科研单位就是微电子所。研究方向互补该所现目前一共有七个研究室。这七个研究室分别为硅器件与集成技术、专用集成电路与系统、微细加工与纳米技术、微波器件与集成电路、通讯与多媒体SOC、电子系统技术和总体电子设计平台与共性技术。各个研究室的研究方向基本涵盖了器件电路设计开发的各块领域，互补而又不冲突?
