双频激光干涉仪原理与单频激光干涉仪有不同
双频激光干涉仪是一种新型激光干涉仪, 基本原理与单频激光干涉仪不同。如图所示,它是利用光的干涉原理和多普勒效应(此处指由于振源相对运动而发生的频率变化的现象)产生频差的原理来进行位移测量的。
激光器放在轴向磁场内,发出的激光为方向相反的右旋圆偏振光和左旋圆偏振光,其振幅相同,但频率不同,分别表示为f1和f2。经分光镜M1,一部分反射光经检偏器射入光电元件D1作为基准频率f基(f基=f1-f2)。另一部分通过分光镜M1的折射光到达分光镜M2的a处。频率为f2的光束完全反射,经滤光器变为线偏振光f2,投射到固定棱镜M3并反射到分光镜M2的b处。频率为f1的光束折射经滤光器变为线偏振光f1,投射到可动棱镜M4后也反射到分光镜M2的b处,两者产生相干光束。若M4移动,则反射光的频率发生变化而产生“多卜勒效应,其频差为多卜勒频差Δf。
频率为f’=f1±Δf的反射光与频率为f2的反射光在b处汇合后,经检偏器射入光电元件D2,得到频率为测量频率f测=f2-(f1±Δf)的光电流,这路光电流与经光电元件D1后得到频率为f基的光电流同时经放大器进入计算机,经减法器和计数器,即可算出差值±Δf,并按下式计算出可动棱镜M4的移动速度v和移动距离l。
即可算出差值±Δf,并按下式计算出可动棱镜M4的移动速度v和移动距离L。
双频测量长度基本公式
v = λ/2×Δf
L = ∫vdt =λ/2×∫Δfdt=N×λ/2其中λ为波长,N为计数值(与Δf有关),L为测量长度
激光波长对测量精度有重要影响,影响测量精度的环境因素有大气压、温度、湿度,激光干涉仪需要进行环境补偿(空气折射率补偿),环境对激光波长的影响如下。以下几种因素可以造成激光频率变化1ppm(RenishawXL-80 633nm)
(1)温度变化1度(2)气压变化3.3mbar(与海拔高度有关)
(3)在20度下湿度变化50% 在40度下 湿度变化30%
注意:激光头常常需要预热几分钟波长才能稳定。
ppm的含义
ppm表示-每百万单位(parts permillion)。在用作表示频率偏差时,它表示在一个特定中心频率下,允许偏差的值,频率以赫兹为单位。ppm和赫兹之间的换算关系如下式:
△f=(f*ppm)/10^6
这里 ppm 是最大变化值(+/-),f是中心频率(赫兹),Df是允许最大的频率变化范围。
例如:如果100MHz的频率允许的100ppm的频率误差。利用上面公式得出频率的变化是10kHz。那么系统的最大频率是100.01MHz,最小是99.99MHz。
(实际上就是表示频率误差范围是中心频率点Hz数的百万分之几——zgy)